真空應(yīng)用系統(tǒng)的幾個問題

1.真空元件，如閥門、進氣管路、真空泵等相互連接時， 應(yīng)盡量做到抽氣管路短，管道直徑盡量不低于主泵入口直徑，并且管路中盡量少用彎頭尤其是直角彎頭。這是真空系統(tǒng)使用的一條重要原則。

2.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)材料應(yīng)盡量采用國家標準中的無縫鋼管和板材，并盡量減少焊縫數(shù)目，用于焊接的鋼材一般為20 鋼或者Q235-A.F 鋼（A3 鋼）。尤其需要注意的是：接入真空系統(tǒng)的管路應(yīng)當清理干凈，并且接入的管路壁厚不應(yīng)當過薄，過薄的管路在粗真空條件下進行抽氣作業(yè)時會產(chǎn)生較強的共振。

3.真空系統(tǒng)操作規(guī)則:

a. 起動機械泵時，首先要保證轉(zhuǎn)子運動方向正確，而且油位合乎要求。

b. 油封機械泵停止后，立即將機械泵入口通大氣。因泵內(nèi)真空會使泵油進入系統(tǒng)中。

c. 盡量不要用機械泵把高真空室直接抽至低于10Pa（0.1Torr）壓強，否則機械泵的油蒸氣會進入高真空室。因為在壓強低于10Pa 時，會出現(xiàn)分子性氣流，油分子將會返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下，則應(yīng)當設(shè)置油分子捕集器。

d. 不應(yīng)當使機械泵在大氣壓強下或者較高壓強下連續(xù)長時間工作，否則電機會過熱，而且泵會噴出油霧。

e. 在擴散泵（或油增壓泵）通大氣之前，應(yīng)將泵油冷卻到安全溫度，防止高溫下的泵油氧化。

f. 使用電離計時，應(yīng)當在壓強達到0.1 Pa 以下時再起動電離真空計，以防止電離計燒毀。

g. 高真空系統(tǒng)系統(tǒng)需要停止使用時，盡量將真空室及主泵在真空狀態(tài)下封存，以縮短下一次使用時的抽氣時間。

h. 系統(tǒng)冷卻水壓力一般大于1 公斤且小于2.5 公斤，過低的壓力會造成冷卻水流通不暢，過高的壓力會導(dǎo)致漏水或泵水隔套被壓破等故障。泵內(nèi)的油在添加時一定要使用1#真空油。